DTU Nanolab Danmark bytter 291 FFU-er i renrom

Som nesten alle andre anlegg av denne typen lider DTU Nanolab under høye energikostnader for driften av renrommene sine. Viftefilterenhetenes infrastruktur, HEPA-filtrene som brukes i enhetene, samt kontrollene for hele systemet, har blitt identifisert som en viktig hjørnestein for å oppnå energibesparelser. Viftefilterenhetene som er i bruk i dag, har delvis vært i bruk i 15 år og er ikke toppmoderne når det gjelder energieffektivitet, systemintegritet og støynivå. Basert på AAFs sterke omdømme innen halvlederindustrien og lange erfaring med tusenvis av installasjoner av FFU-er og ePTFE HEPA-filtre med lavt energiforbruk, foreslo AAF en overbevisende løsning - med bærekraftig suksess.

AstroFan FFU-modulen består av et aluminiumshus som inneholder en innkapslet, høyytelses AAF-optimalisert, direkte drevet, bakoverbøyd EC-vifte/motorkombinasjon og et utskiftbart AAF HEPA- eller ULPA-filter. Hele huset er enkelt å dekontaminere og motstandsdyktig mot desinfeksjonsmidler. Huset tetter og hviler på de anodiserte aluminiumprofilene til AAF HEPA- eller ULPA-filteret.

Den mest effektive ULPA-filterteknologien for mikroelektronikk
I mikroelektronikkproduksjon er ren luft og rene produkter avgjørende for riktig doping av halvledere. I likhet med partikler kan visse elementer påvirke de elektriske egenskapene til integrerte kretser negativt, og dermed påvirke utbyttet. Tradisjonelle borosilikatglassmedier er en potensiell kilde til borforurensning, selv med «borfattige» glassmedier. Fosfor kan finnes i flammehemmere i visse polyuretanforseglingsmidler som brukes til å forsegle mediepakken til filterrammen. Derfor er MEGAcel II ME bygget og testet bor- og fosforfritt. I over 20 år har MEGAcel II ME vært gullstandarden for mini-miljøhus for filtreringssystemer for halvlederverktøy.

Høyeffektiv HEPA/ULPA FFU med modulær design

•  Tilgjengelig i 7 standardstørrelser
• Lettvektshus i aluminium
• Lavt lydnivå
• Egnet for alle ISO-renromsklasser
• Egnet for turbulent og laminær strømning
• Passer til et bredt utvalg av AAF HEPA- og ULPA-filtre
• Tilgjengelig med EC RS-485, 0-10 Volt og MODBUS RTU-kontrollgrensesnitt
• Mer informasjon om FFU

Fullt integrerte kontrollsystemer helt ned til den enkelte FFU

I tillegg til luftfiltre og ikke-drevne tilførselshus, krever visse bruksområder også enhetsspesifikk kontroll av hastigheten og konsistensen på luftstrømmen i store produksjonslokaler. Viftefilterenheter, spesielt når de kombineres med robuste elektroniske styringssystemer, bidrar til å sikre integriteten til produksjonsprosessene i disse bruksområdene og maksimerer den totale systemøkonomien.

MEGAcel^® II ME membranfiltre

• Gir ultrahøy effektivitet med det laveste trykkfallet
• Høy motstandskraft mot korrosive miljøer (syrer, baser og organiske stoffer)
• Laveste tilgjengelige avgassingsegenskaper
• Mediet har høy strekkfasthet og er mer motstandsdyktig mot røff håndtering under transport og installasjon
• Oppfyller I300I-spesifikasjonene og er UL 900- og ULC S111-klassifisert
• Mer informasjon om MEGAcel II ME

291 viftefilterenheter (FFU-er) er i ferd med å skiftes ut i renrommet med en estimert ferdigstillelsesdato i mai 2022. De nye FFU-ene er mer stillegående enn de eksisterende FFU-ene og vil spare 122 000 kWh/år, noe som tilsvarer ca. 268 000 kr/år.